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        • 商品名称: 氢氟酸
        • 商品编号: 04
        • 上架时间: 2015-05-07
        • 浏览次数: 115

        氢氟酸

        英文名称:Hydrofluoric Acid
        分子式: HF 
        分子量: 20.01

        CAS NO: 7664-39-3

         

        物化性质:无色透明发烟液体呈酸性,有刺激性气味,有腐蚀性,能强烈地腐蚀金属。


        主要用途:主要用于集成电路工业中芯片清洗与腐蚀,是微电子技术加工过程中不可缺少的关健化学品之一;也用于液晶显示器(TFT-LCD)行业中对玻璃基板、氮化硅、二氧化硅蚀刻;还用于太阳能电池行业硅表面清洗蚀刻等。

         

        序号 项目 AR级 EL级 UP级 UP-H级  
        1 HF % ≥55.0 ≥40.0% 48.0~50.0 ≥99.9  
        2 色度(黑曾单位) / ≤10 <10.0 <10.0  
        3 颗粒(≥0.5μm) Ea/ml / / ≤25 ≤10  
        4 灼烧残渣(以硫酸盐计) mg/kg ≤20 ≤20 / /  
        5 氯化物(Cl) mg/kg ≤10 ≤10 ≤5 ≤2  
        6 硝酸盐(NO3)mg/kg  / / ≤3 ≤1  
        7 硫酸盐和亚硫酸盐(以SO4 计) mg/kg ≤20 ≤10 ≤5 ≤2  
        8 磷酸盐(PO4) mg/kg ≤20 ≤2 ≤1 ≤0.5  
        9 氟硅酸盐(SiF6) mg/kg ≤400 ≤400 ≤100 ≤50  
        10 铁(Fe)ppb ≤1000 ≤100 ≤10 ≤0.8  
        11 重金属(以Pb 计) ppb ≤5000 ≤50 ≤10 ≤0.8  
        12 金属元素 优于美国SEME C1标准,控制1μm颗粒,控制十多个金属元素,单项金属元素控制在100PPb。 介于EL与UP-H之间,控制0.5μm颗粒,控制三十多个金属元素,单项金属元素控制在10~100PPb。 等同于美国SEME C8标准,控制0.3μm颗粒,控制三十多个金属元素,单项金属元素控制在1PPb以下。  
                     
        包装:  4L/桶、20L/桶、200L/桶,也可以按客户要求定制包装。