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盐酸

盐酸

 

英文名称:Hydrochloric acid
分子式:HCl
分子量:36.46
CAS号: 7647-01-0


物化性质:盐酸是一种强酸,浓盐酸具有极强的挥发性,因此盛有浓盐酸的容器打开后能在上方看见酸雾。高纯盐酸一般由工业品通过恒沸蒸馏法提纯而成。
 

主要用途:在半导体和集成电路中用作配置晶片表面及金属涂层的酸性洗液和蚀刻液。

 

 

序号 项目 AR级 EL级 UP级 UP-H级
1 含量 (%) ≥36 ≥36-37 ≥36-38 ≥36-38
2 色度 (黑曾) ≤10 ≤10 ≤10 ≤10
3 灼烧残渣(以硫酸盐计)mg/kg ≤5 ≤10 ≤3 ≤2
4 游离氯(Cl2) mg/kg ≤1 ≤1 ≤0.5 ≤0.4
5 硫酸盐(SO4)mg/kg ≤2 ≤2 ≤0.5 ≤0.4
6 亚硫酸盐(SO3)mg/kg  ≤2 ≤2 ≤0.8 ≤0.6
7 磷酸盐(PO4)mg/kg  / / ≤0.05 ≤0.05
8 颗粒≥0.5μm(个/ml) ≤25 ≤10
9 锡(Sn)mg/kg ≤2 ≤0.05 ≤0.01 ≤0.0008
10 铁(Fe)mg/kg ≤0.5 ≤0.1 ≤0.01 ≤0.0008
11 铜(Cu)mg/kg ≤0.1 ≤0.05 ≤0.01 ≤0.0008
12 砷(As)mg/kg ≤0.05 ≤0.1 ≤0.03 ≤0.001
13 铅(Pb)mg/kg ≤0.2 ≤0.05 ≤0.01 ≤0.0008
14 外观 无色透明液体 无色透明液体 无色透明液体 无色透明液体
15 金属元素 优于美国SEME C1标准,控制1μm颗粒,控制十多个金属元素,单项金属元素控制在100PPb。 介于EL与UP-H之间,控制0.5μm颗粒,控制三十多个金属元素,单项金属元素控制在10~100PPb。 等同于美国SEME C8标准,控制0.3μm颗粒,控制三十多个金属元素,单项金属元素控制在1PPb以下。

 

包装: 4L/桶、25L/桶、160kg/桶,也可以按客户要求定制包装。

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